ILfase di campionamento multifunzionaleè un'apparecchiatura sperimentale altamente integrata utilizzata principalmente nei campi della scienza dei materiali, della produzione di semiconduttori, dell'analisi di microscopia elettronica, ecc. Le sue caratteristiche principali sono la progettazione modulare, l'integrazione multifunzionale e il controllo ad alta precisione.
uno, Le funzioni principali e le caratteristiche strutturali dell'fase di campionamento multifunzionale
1. Progettazione modulare difase di campionamento multifunzionale:
Sono possibili molteplici funzioni tramite diverse combinazioni di moduli, come ad esempio il modulo di accoppiamento autorotante (velocità 0~20 giri al minuto, con limite zero), il modulo di sollevamento (corsa standard 50mm/100mm, personalizzabile), il modulo riscaldatore (temperatura massima fino a 1100 ℃), ecc.
Supporta la connessione di alimentazione CC/RF per soddisfare le esigenze di crescita di film sottili, pulizia di campioni o formazione di film ausiliari.
2. Controllo ad alta precisione e sensori perfase di campionamento multifunzionale:
Dotato di sensori di temperatura, pressione e altri sensori, monitoraggio in tempo reale dei parametri ambientali del campione e regolazione del riscaldamento, del raffreddamento e di altre operazioni tramite il sistema di controllo.
Alcuni modelli integrano moduli deflettori pneumatici per un facile utilizzo.
3. Compatibilità e adattabilità difase di campionamento multifunzionale:
Adatto per testare campioni irregolari quali tracce di polvere, materiali in fogli e campioni di grandi dimensioni, evitando i danni causati dal taglio o dalla molatura tradizionali.
Supporta dimensioni campione inferiori a 6 pollici e interfacce flangia personalizzabili.
due, Campi di applicazione del supporto per campioni multifunzionale
1. Tecnologia a film sottile perfase di campionamento multifunzionale: utilizzato per tecnologie avanzate di crescita di film sottili quali MBE (epitassia a fascio molecolare), PLD (deposizione laser pulsata), sputtering magnetron, nonché ricottura del substrato, degasaggio ad alta temperatura e altri processi.
2. Analisi al microscopio elettronico del campione multifunzionale:
Microscopio elettronico a scansione a campo freddo: fissare il campione con viti lunghe e regolare la conduttività con rondelle in ottone compatibili.
Sistema TEM/FIB: integra delaminazione in situ, test con nanosonda e analisi TEM per evitare contaminazioni o danni causati dal trasferimento del campione.
3. Analisi dei guasti della fase di campionamento multifunzionale: integrazione di processi di stripping del sito atomico, test elettrici e analisi nei sistemi FIB e TEM per migliorare il tasso di successo e l'efficienza.
tre, Vantaggi tecnici difase di campionamento multifunzionale
1. Integrazione e automazione della fase di campionamento multifunzionale: riduce la complessità delle operazioni manuali grazie alla progettazione modulare, supporta il movimento complessivo e il posizionamento preciso in ambiente sotto vuoto.
2. Elevata affidabilità della piattaforma di campionamento multifunzionale: utilizzo di interfacce flangiate standard (come CF50/CF40) per garantire tenuta e compatibilità.
3. Personalizzazione del tavolo portacampioni multifunzionale: in base alle esigenze è possibile selezionare il materiale riscaldante, la lunghezza della corsa e il tipo di portacampioni (ad esempio, tipo a baionetta a 3 ganasce, tipo a forcella inferiore).
Nel complesso, il portacampioni multifunzionale è un'apparecchiatura chiave per la ricerca sui materiali e la microanalisi, comunemente utilizzata negli strumenti di diffrazione a raggi X. Il suo valore risiede nell'integrazione funzionale, nella flessibilità operativa e nell'adattabilità a requisiti sperimentali complessi. La selezione specifica deve prevedere i moduli e i parametri prestazionali corrispondenti in base agli scenari applicativi effettivi (come la tecnologia a film sottile, l'analisi al microscopio elettronico o l'analisi dei guasti).
