Il generatore di raggi X è composto da un tubo a raggi X, un generatore di alta tensione, un circuito di stabilizzazione della pressione e del flusso del tubo e un circuito di protezione. Qui ci concentriamo suTubi a raggi X. L'essenza del tubo a raggi X è un diodo a vuoto, il catodo è un filo di tungsteno, l'anodo è una lamiera. Quando viene applicata una corrente a entrambe le estremità del catodo, il filo di tungsteno si riscalda producendo elettroni che irradiano calore. Questi elettroni vengono accelerati sotto un campo elettrico ad alta tensione, bombardando l'anodo (ovvero il bersaglio) e producendoRaggi X(questo processo genera molto calore e, per proteggere l'obiettivo, è necessario assicurarsi che il sistema di circolazione dell'acqua funzioni correttamente).

I target anodici comuni sono: Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W, il più comunemente usato è il target Cu. La lunghezza d'onda dei raggi X e la tensione operativa dei target comunemente utilizzati sono mostrati nella tabella seguente: