HRXRD è un potentecontrolli non distruttivimetodo, e i suoi oggetti di ricerca sono principalmente materiali monocristallini, materiali a film sottile epitassiale monocristallino e varie eterostrutture semiconduttrici a bassa dimensione. È ampiamente utilizzato per la misurazione della qualità del singolo cristallo, dello spessore, dei parametri cellulari e di altri parametri strutturali dei film epitassiali.

La scansione 2theta/omega viene utilizzata per rilevare la dispersione coerente di strati atomici paralleli alla superficie e può essere utilizzata per determinare la composizione di In, parametri cellulari fuori piano, spessore e altri parametri.

il pattern di scansione 2theta/omega del GaN (0002)cristalloviso

evidenti picchi oscillanti del superreticolo e frange di interferenza del film sottile tra i picchi del superreticolo.

RSM è un metodo intuitivo per analizzare le discrepanze tra film sottili e substrati e i difetti dei film sottili. Modernorisorse umaneXRDl'utilizzo di rilevatori 1D può migliorare notevolmente la velocità del test, l'acquisizione rapida di un RSM richiede solo decine di secondi.

L'immagine è il risultato di un adattamento dello spettro completo della scansione 2theta/omega. Si può vedere che la mappa di adattamento è in buon accordo con i dati del test. Il contenuto di In è un parametro importante nel processo di crescita. HRXRD è quindi un potente strumento per monitorare il processo di deposizione.