Il principio di molti dispositivi di caratterizzazione è quello di far interagire gli elettroni con le sostanze che devono essere rilevate, eccitare gli elettroni secondari o effettuare transizioni e viaggi a livello atomico e rilasciare energia caratteristica. Comprendere le interazioni tra elettroni e materia aiuta a comprendere fondamentalmente una varietà distrumenti di caratterizzazionee per comprendere i loro scenari applicativi.

Quando un fascio di elettroni colpisce una sostanza, possono verificarsi i seguenti processi:

1. L'interazione con l'elettrone esterno determina la transizione dell'elettrone allo stato fondamentale e l'elettrone emetterà luce visibile o ultravioletta quando ritorna.

2. L'interazione con gli elettroni della banda di valenza o della banda di conduzione fa sì che gli elettroni esterni si ionizzino e producano elettroni secondari. L'energia dell'elettrone secondario è bassa, generalmente inferiore a 50 eV. È coinvolto solo nell'intervallo superficiale di 5-10 nm, indipendentemente dal tipo di elemento.

3. Gli elettroni incidenti interagiscono con gli atomi, l'energia si riduce e l'energia persa viene rilasciata sotto forma di energia continuaRaggi X, dopo di che gli elettroni stessi fuggono, il che è chiamato elettroni retrodiffusi. L'elettricità retrodiffusa è correlata al numero atomico, maggiore è il numero atomico, maggiore è il numero di elettroni retrodiffusi e il numero è determinato dal tipo di elemento, che è il principio dello spettro di perdita di energia degli elettroni.

4.. Elettrone di trasmissione: attraverso il materiale, e la tensione è proporzionale al numero atomico, e lo spessore è inversamente proporzionale, la profondità di penetrazione non è troppo grande, quindi può essere utilizzata per misurare il campione di circa 1 micron.

5. L'elettrone incidente può anche entrare nello strato interno dell'atomo, espellendo l'elettrone interno in un elettrone secondario, in modo che ci sia un posto vacante nello strato interno e l'elettrone esterno riempirà il posto vacante e l'energia extra sfuggirà InRaggi Xo riprodurre l'elettrone esterno, che è chiamato elettrone Auger.