L'incidenza del pascolo significa che ilraggi Xè esposto alla pellicola con un angolo di incidenza molto piccolo (< 5°), che riduce notevolmente la profondità di penetrazione nella pellicola. Allo stesso tempo, un angolo di incidenza più ampio aumenta l'area di irradiazione dei raggi X sul campione e aumenta il volume del campione che partecipa alla diffrazione. In questo articolo viene introdotto il ruolo del GID nell'analisi strutturale dei film sottili.
Esempio: test GID su pellicola a strato singolo
In questo esempio, il campione è una pellicola policristallina RuO2 da 14 nm preparata su un substrato di silicio monocristallino (100). Pertanto, il segnale del campione di film sottile è convenzionaleXRDil modello è mascherato dal segnale del monocristallo di Si. Sebbene i picchi di diffrazione della pellicola sottile siano visibili nell'immagine ingrandita, il segnale è molto debole. Lo spettro GID del campione con un angolo incidente di 0,3 gradi è mostrato nella Figura 2. Nella figura non è presente alcun segnale del substrato monocristallino di Si e il segnale della pellicola è evidente.
Fig. 1
Fig2